捷迅通射頻匹配網(wǎng)絡(luò )是深圳捷迅通射頻技術(shù)有限公司自主創(chuàng )新開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。定制化的射頻匹配拓撲設計、實(shí)時(shí)在線(xiàn)測量 技術(shù)以及創(chuàng )新控制算法，保證了射頻匹配網(wǎng)絡(luò )具有更加卓越的性能、更高的射頻功率能效、更精準的控制和更高的可靠 性，與普通射頻網(wǎng)絡(luò )相比，射頻能效高5%-12%；可實(shí)現豪秒級至秒級快速匹配；反射功率低于入射功率的1%；可重復性 高于97%。
捷迅通射頻匹配網(wǎng)絡(luò )適用于對工藝制程的要求比較高的等離子體脈沖工藝，廣泛應用于光伏、半導體制造和材料改性等行業(yè)，其主要特點(diǎn)如下:
射頻功率能效高:采用定制化射頻拓撲和改進(jìn)的網(wǎng)絡(luò )工藝，平均能效高5%-12%。
快速匹配:采用在線(xiàn)實(shí)時(shí)測量技術(shù)快速控制技術(shù)，保證射頻匹配網(wǎng)路在等離子體腔體阻抗快速變化過(guò)程中可快速實(shí)現匹配。
高可靠性:采用自適應匹配路徑算法，保證射頻匹配網(wǎng)絡(luò )匹配路徑的可靠性，從而實(shí)現高可靠性的射頻阻抗匹配，為等
離子體腔體工藝的一致性提供高可靠性保障。
高精度:優(yōu)化射頻匹配網(wǎng)絡(luò )自動(dòng)匹配算法，對射頻匹配網(wǎng)絡(luò )的可調器件進(jìn)行更加快速準確的控制，從而實(shí)現反射功率低于入射功率的1%。
傳承優(yōu)品電子制造技術(shù)12年，堅持精密制造、誠信為本，保證生產(chǎn)高質(zhì)量產(chǎn)品，以真誠奉獻來(lái)積極回饋社會(huì )。
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